● 用給材料直接通電流的方式蒸發(fā)
● 主要用于硅等半導(dǎo)體材料的蒸發(fā)
● 簡(jiǎn)單易用，受熱面積小
直流加熱蒸發(fā)源（Direct Current Heating Cell）
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國(guó)成儀器（常州）有限公司目前成熟并應(yīng)用于市場(chǎng)的產(chǎn)品有：MBE、蒸發(fā)源、rheed
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