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掩膜板分子束外延系統(tǒng)是在超高真空MBE技術(shù)上增加了原位的掩膜板更換系統(tǒng)。可以在樣品制備前加裝和更換掩膜板，以實現(xiàn)樣品表面薄膜的圖形化。掩膜板的安裝和更換兼容mbe原有的快速進樣室和傳樣機構(gòu)。樣品和掩膜板之間的距離連續(xù)可調(diào)。的機構(gòu)保證樣品盒掩膜板之間的平行。

掩膜板分子束外延系統(tǒng)（Mask MBE）